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キヤノン、パワー半導体向け露光装置に「ｉ線」採用
(2012/6/27 05:00)
キヤノンは２６日、電力制御などに用いるパワー半導体向けに、波長３６５ナノメートル（ナノは１０億分の１...
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(2012/6/27 05:00)
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