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第６回ものづくり日本大賞／ＴＯＴＯ「半導体製造装置用低発塵性部材」
(2015/12/10 05:00)
ＴＯＴＯが開発したのは半導体製造装置に搭載する電極だ。スマートフォンなど最新のデバイスに搭載され、性能を決定する半導体の製造に、この電極は重要な役目を担っている...
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(2015/12/10 05:00)
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