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[ 新製品 ]
ニコン、回路線幅７ナノメートル対応のＡｒＦ液浸露光装置
(2016/2/23 05:00)
ニコンは、フッ化アルゴン（ＡｒＦ）液浸露光装置の新製品「ＮＳＲ―Ｓ６３１Ｅ＝写真」を発売した。半導体の性能を左右する回路線幅を７ナノメートル（ナノは１０億分の１）まで細くできる。従来機種「Ｓ６３０Ｄ」は１０ナノメートルまでの対応だった。先端のプロセッサーやメモリーを手がける半導体...
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(2016/2/23 05:00)
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