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第一精工、圧電薄膜ＭＥＭＳミラーデバイス開発−ＸＹ軸両方向に共振させ小型化実現
(2016/5/13 05:00)
第一精工は圧電薄膜を用いた微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）ミラーデバイスを開発した。Ｘ軸方向とＹ軸方向の両方向に共振駆動させることで小型化を実現。バーチャル入力...
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(2016/5/13 05:00)
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