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[ エレクトロニクス ]
フェローテック、韓国でＣＶＤ―ＳｉＣ部材生産−来春めど稼働、海外需要増に対応
(2016/9/29 05:00)
フェローテックは半導体製造装置向けに、韓国で化学気相成長法（ＣＶＤ）による炭化ケイ素（ＳｉＣ）部材（写真）の生産に乗り出す。２０億円を投じて工場を建設し、２０１...
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(2016/9/29 05:00)
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