アサヒ電研、ガラス代替のガスバリアフィルム開発−折り曲げ可能な有機ＥＬ用

アサヒ電子研究所（大阪市中央区、和倉慎治社長、０６・６２２２・３２３３）は、ガラスに近い防湿性能を持つガスバリアフィルムを開発した。試作用の製造装置も開発した。ガラスの代わりに折り曲げ可能なフィルムを基板に使う有機エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）ディスプレーの劣化を防ぐ新材料として、パネルメーカーなどに提案する。

ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの樹脂フィルム上に触媒化学気相成長法（ＣＡＴ―ＣＶＤ）で、酸素やフッ素を含むシリコン系化合物の薄膜を３層重ねて、厚さ０・５マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）以下の透明薄膜を形成する。薄膜の防湿性能を示す水蒸気透過量は１日・１平方メートル当たり０・００００５グラム以下で、液晶基板用ガスバリア膜の２０００分の１程度とした。

同フィルムは中山弘大阪市立大学教授と共同で開発した。中山教授が設計・開発したフィルム試作用のバッチ式製...