三菱マテ、１２００ｍｍ角の柱状晶シリコン 安定製造技術を確立

• 

三菱マテリアルは２５日、子会社の三菱マテリアル電子化成（秋田市）と業界最大級となる１２００ミリメートル角の柱状晶シリコン（写真右）を安定的に製造する技術を共同開発したと発表した。長年蓄積してきた高度な精密鋳造技術を使い、シリコンの高純度化と内部応力の低減を実現し、大型品の製造技術を確立した。三菱マテの従来品（１０５０ミリメートル角）に比べ基板面積を約３０％大型化できる。半導体の微細化に伴う半導体製造装置内の不純物低減ニーズをにらみ、製造装置のウエハー周辺部材や大型部材などに提案しサンプル配布を始める。

柱状晶シリコンは一方向に結晶を成長凝固した柱状の結晶構造を持つ多結晶シリコン。シリコン材料は材質が脆性なうえ凝固過程で膨張するため、大型になると割れやすく、安定した製造方法の確立が求められていた。

薄型ディスプレー（ＦＰＤ）でも基板の熱処理工程で使われる均熱板の大型化ニーズに応え、大型の柱状晶シリコンを売り込む。