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10.5世代用ＦＰＤ検査システム、レーザーテックが開発
(2017/12/1 05:00)
【横浜】レーザーテックは、１０・５世代の大型フラット・パネル・ディスプレー（ＦＰＤ）向けフォトマスク検査システムを開発した。精度の高い欠陥検査技術を採用した。「...
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(2017/12/1 05:00)
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