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半導体再興へ 大学の最先端研究（11）CLBO結晶、EUV露光の要に
(2024/3/14 05:00)
大阪大学の森勇介教授（名古屋大学教授を兼務）は３０年前に「ＣＬＢＯ結晶」を開発した。同結晶は紫外レー...
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(2024/3/14 05:00)
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