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記事検索結果
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先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発につまずき苦戦してきたが、ここに来て同社が得意とするi線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン&...
キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発が順調にいかず、露光装置業界でオランダのASML、ニコンの後塵(こうじん)を拝してきた。
キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の開発につまずき、オランダのASML、ニコンとの競争にさえ加われない状況が続いた。
最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸フォトリソグラフィーを使い、プロセスを工夫するなどして、30センチメートルシリコンウエハーの全面に光ナノ共振器を高い精度で作製した。 ...
JFEスチールは西日本製鉄所倉敷地区にASU6基と関連設備を持ち、酸素や窒素、アルゴンを製造・消費してきた。
ICP―MSは、誘導結合によって生成される約1万度Cのアルゴンガスのプラズマを利用し、液体試料中の元素をイオン化して質量分析する。... アルゴン消費量は従来海外他社製品比で年70万―280万円の削減...
ニコンは、フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の新製品「NSR―S631E=写真」を発売した。
「当面は従来のフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーが主力だろうが、EUVやICを立体的に接続する3次元(3D)実装といった”次“に対応できる体制づくりも進めている。
複層ガラスには、Low―Eガラスを採用し、熱伝導率が低いアルゴンガスや樹脂スペーサーも用いている。
新日鉄住金は八幡製鉄所にASU5基と関連設備を持ち、酸素や窒素、アルゴンを製造・消費してきた。... 17年に新設するASUの生産能力は酸素が毎時3万5000ノルマル立方メートル、窒素が同5万ノルマル...
3Dは1980年の設立で、テキサス州中央テキサス地区の7拠点で酸素や窒素、アルゴン、アセチレンなどを扱う地区最大手。
新たに加えるアイテムは、ガス別では酸素ガス、アルゴンガスなど使用ガスの中から適するものをそろえる。
EUVは光源の出力不足を解消できず、フッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)の延命で対応してきた。
新アトマイズ法とは、レビテーション炉と呼ぶ水冷銅ルツボの中で金属を半浮遊で溶解した後、アルゴンガスを噴霧して粉末にするレビアトマイズのこと。
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー方式を延命して微細化に対応してきたが、限界に達しつつある。
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー方式を延命して微細化に対応してきたが、限界に達しつつある。
ASUは空気をコールドボックス(保冷外槽)で冷却し、マイナス180度Cの極低温状態で蒸留して酸素と窒素、アルゴンに分離する装置。... 2基合計で酸素が毎時4万ノルマル立方メートル、窒...
1時間当たりの生産能力は酸素ガス3万5000立方メートル、窒素ガス2万1000立方メートル、アルゴンガス1300立方メートル。... 新日鉄住金の製鉄所向けにガス供給を担うとともに、アルゴンガスでは国...
