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記事検索結果
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またスパッタリングを利用するイオンミリングと呼ばれる方法では、素子の側壁に原子が付着してしまい、微細化が難しいという課題があった。
ガラス上に積層するフッ素ドープ酸化スズ、酸化チタン、ペロブスカイト結晶構造の化合物であるメチルアンモニウム鉛ヨウ化塩など積層方法も真空プロセス(化学蒸気堆積法やスパッタリングなど)の高...
トーソー・クォーツは半導体製造装置用石英ガラス部品、トーソー・SMDは半導体基板に薄膜で電極を作る材料になるスパッタリングターゲットを供給する。
本社敷地内にあるフィルム製造テスト施設「ヒラノテクニカム」にはスパッタリングとウェットコーティングを複合したテスト用の製造装置も設置して、顧客の技術課題をワンストップで解決する狙いだ。 ...
会場では熱や摩擦がかかってもはがれたりしにくい非粘着コーティング技術や、金属やガラス、紙、繊維強化プラスチック(FRP)などの素材に成膜できる特殊大型スパッタリング加工技術などをアピー...
JX日鉱日石金属は台湾で建設を進めていたフラットパネルディスプレー(FPD)、半導体用スパッタリングターゲットの新工場が完成した。同国の八徳工場で展開していたFPD用スパッタリングター...
東ソーは2014年12月に米国で直径450ミリメートルの次世代半導体ウエハー用スパッタリングターゲットを生産する設備を新設する。... スパッタリングターゲットは、真空中でアルゴンイオンを衝突させて半...
電子部品などの基板の回路形成に必要なスパッタリング装置向けで、独自技術によりポンプの回転速度を向上させて小型化を実現した。 ... 芝浦メカトロニクスは低温成膜可能なスパッタリング装...
【芝浦メカトロニクス/スパッタリング研究開発用装置】 芝浦メカトロニクスは、研究開発用スパッタリング装置や低温成膜スパッタリング装置を紹介する。
成膜するスパッタリング装置やレーザー蒸着装置をそれぞれ2、3台順次導入し、同線材をコイル化する企業向けに納入する計画だ。
筑波大学の新関智彦助教(現東北大学)、柳原英人准教授、喜多英治教授らのグループは、量産に適した成膜手法であるスパッタリング法を使って、良質なコバルトフェライト単結晶薄膜を作ることに世界...
光学薄膜関連は、主として製造方法がPVD(物理的気相成膜法)と呼ばれる手法が多く、蒸着やスパッタリングといった真空の中で分子状にした物質を当てて成膜し、乾式と呼ばれる。
水晶振動子上の有機系薄膜は高周波スパッタリング法によって作られているが、この有機系薄膜の材料を変えれば活性酸素の検出感度を変えることができる。
スマートフォン(多機能携帯電話)で使う透明導電膜フィルムは、スパッタリングで作製し、アモルファスと結晶の構造がうろこ状になっている。
開発した装置は電極を製膜するスパッタリング装置も同じチャンバー内で使えるようにしており、低コストでカーボン薄膜太陽電池に関する一連の開発を行える装置にした。
オプションで、太陽電池の電極製膜などに使えるスパッタリングユニットを同一チャンバー内に搭載できる。
そのため10億円弱を投じ、京都事業場(京都市南区)にスパッタリング設備の新鋭機を導入し、7月から稼働する。... 同社は2011年末にもスパッタリング装置を増強しており、タッチパネル需...
