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鎌田善己連携研究体グリーン・ナノエレクトロニクスセンター特定集中研究専門員らは、シリコン酸化膜上に非晶質ゲルマニウムをスパッタリング成膜した後、熱処理して多結晶ゲルマニウムを作成し、フィン型トランジス...

アーク溶射機は一瞬でもワイヤの供給が止まるとスパッタリングが起きたり、ガンが詰まってしまうトラブルに見舞われる。

12年に韓国拠点にスパッタリング設備など同フィルムの製造ラインを導入した。

【奈良】ヒラノテクシードはITO(酸化インジウムスズ)成膜用の真空スパッタリング装置の生産能力を増強する。... 12年12月末時点の真空スパッタリング装置の受注残は、前年同期比3倍以...

フィルムにスパッタリングする方法を開発するとともに、装置の機構を改良して透明の非結晶型膜を成膜できるようにした。

酸化物半導体成膜形成に用いる酸化物スパッタリングターゲット材は神戸製鋼の子会社、コベルコ科研が製造する。

光を電気に変えるCIGS層と透明導電膜の間に挿入する「バッファー層」の製膜に、ドライプロセスのスパッタリングを用いた。... バッファー層には酸化亜鉛にマグネシウムを混ぜた材料を用いて、スパッタリング...

傘の裏面にナノレベルのステンレス粒子を吹き付けた技術「スパッタリング加工」を採用し紫外線や日射熱をカットする。

薄膜はスパッタリングで透明な樹脂シートに蒸着させて作製する。

藤野達士明石工業高等専門学校教授が「真空技術の基礎」、福住正文兵庫県立工業センター主任研究員が「スパッタリング法による成膜技術と応用」を講演する。

また複雑な形状は従来、スパッタリングで対応してきた。

アルバックはスパッタリング装置を新たに開発したほか、東京エレクトロンは米国の関連装置メーカーを買収し製品ラインアップの拡充を急ぐ。... アルバックはメッキを施すための銅シードとバリアー層を形成するス...

ガラス基板上に、金属マグネシウムと金属イットリウムを同時にスパッタリングして合金薄膜を形成し、1日1サイクルで30年の使用期間に相当する1万サイクルの耐久試験をしたところ、鏡状態でも透明状態でも光の透...

「高イオン化スパッタリング」と呼ぶ新たな技術をテーマに、国内外の研究者の取り組みや成膜装置メーカーの技術開発動向を紹介。

真空装置や太陽光発電パネル製造装置をはじめ半導体製造時に使われる化学気相成長(CVD)装置やスパッタリング装置向けの熱電対や電気ヒーターも手がける。 ...

スパッタリング装置や真空成膜装置も手がける。

【芝浦メカトロニクス/用途に応じた成膜装置】 R&D用スパッタリング装置「i―Miller」を出展する。... 同時に出展する高速枚葉スパッタリング装置「BMシリー...

スパッタリングラインでlow―Eガラスを生産後、隣接する窓棟で複層ガラスに加工する。

【横浜】昭和真空は低温で成膜できる発光ダイオード(LED)デバイス用スパッタリング装置(写真)を開発、発売した。... 材料ロスの多い真空蒸着装置や高温スパッタリング装...

開発した「多角バレルプラズマCVD法」は、阿部教授らの多角バレルスパッタリング装置にユーテックがプラズマの技術を加えて改造し、成膜装置を完成した。

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