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記事検索結果
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シリコンと二酸化ケイ素でできた基板の上に2層のグラフェンを置き、その上にスパッタリングで亜鉛の薄膜を作製。... 原理は亜鉛のスパッタリングの衝撃でグラフェンの炭素結合が影響を受けるためと見られ、亜鉛...
スパッタリング技術により、素材の分極方向をそろえたことで圧電定数を向上できた。... スパッタリングで薄膜を形成するため、半導体と同一ウエハー上に一体化したデバイスを作れるメリットもある。
超硬工具材料やスパッタリングターゲット材料など幅広い素材研究や生産に使われているほか、最近はエネルギー関連の熱電材料や電池材料の開発にも利用されている。
直径1マイクロメートルのシリカビーズと同3マイクロメートルのポリスチレン粒子の半球面だけに金をスパッタリング法などでコートし、前後で光学的性質が違う非対称粒子を作った。
無電解のUBMメッキは、現在主流の電気メッキやスパッタリング処理に比べて50―60%程度の低コスト化が見込め、製品の短納期化にもつながるメリットがある。
ロールに巻いたプラスチックなどのフィルム基板上に連続してスパッタリングで高速成膜する装置で、基板が装置の間を連続的に流れるため搬送に伴う手間などがなくなり、コスト削減につながる。
無電解のUBMメッキは、現在主流の電気メッキやスパッタリング処理に比べて50―60%程度の低コスト化が見込め、製品の短納期化にもつながるメリットがある。
ウエハーごとのレジストマスクが要らず、現在主流の電気メッキやスパッタリングよりも工程を簡素化して生産コストを半減以下に抑える。
従来スパッタリングはガラスなどの基板に材料を積層させる際に、基板温度を300度C程度の高温にする必要がある。
新規導入する研究機器は、ガスクロマトグラフ質量分析計や味覚センサー、ニット編み機、偏光顕微鏡システム、スパッタリング製膜装置。
薄膜・多層膜構造の評価には、イオンスパッタリングを併用したX線光電子分光法やオージェ電子分光法、二次イオン質量分析法などによる深さ方向の分析手法が広く用いられている。
田中貴金属工業(東京都千代田区、岡本英彌社長、03・6311・5511)は9日、銀薄膜形成用の銀系大型円筒スパッタリングターゲット(写真)を開発したと発表した。
千葉富里工場では現在、液晶ディスプレー、半導体向けのスパッタリングターゲットの加工や、ターゲットを固定するための裏板(バッキングプレート)とターゲットを張り合わせるボンディング処理を担...
