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記事検索結果
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すでに高砂コーティングセンター(兵庫県高砂市)に被膜を形成する大型スパッタリング装置を導入。... 神鋼が導入したのは処理空間が径700ミリメートル、高さ800ミリメートルのスパッタリ...
蒸着やスパッタリングといった装置のチャンバーをつなぎ、膜の変質や膜間の空気混入を防ぎながら連続成膜できる。... 成膜工程では、蒸着やスパッタリングなどのチャンバーにフィルムを通す。... スパッタリ...
【名古屋】システック(愛知県安城市、辰己敏実社長、0566・92・5611)は、スパッタリング(薄膜形成)の前処理専用機「真空脱ガス装置=写真」を6月をめどに発...
スパッタリングやイオンプレーティングと呼ばれる薄膜成形技術もメッキの仲間と言える。... 【より微細に】 表面改質手段として優秀なメッキだが、フィルムなどの非金属物質に金属被膜を与えるにはスパ...
SKS材の採用でノズルの内面に不純物(スパッタリング)が付着しやすくなる課題については、厚さ10マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の硬質クロムメッキ加工で問題...
「スパッタリング」。... 記者はスパッタリング装置を見るのは初めて。... スパッタリング装置だけで4000万円もする。
日鉱金属は従来品に比べスパッタリング(薄膜形成)時の異常放電の回数を半減できるインジウム・スズ酸化物(ITO)ターゲット材「UHD―IV」を開発した。... ターゲット...
三菱マテが新開発したカルシウム添加の銅合金ターゲット材料と、アルバックの酸素混合スパッタリング技術を使い、下地との密着性を高めた。
【名古屋】中部大学総合工学研究所の多賀康訓教授は代表的な薄膜成膜法であるスパッタリングで、後工程の熱処理を不要にする低温成膜技術を確立した。... スパッタリングは真空中でアルゴンガスを投入し電圧をか...
スパッタリングは主要な表面処理技術の一つである。... 著者はスパッタリングプロセス専門の技術コンサルタント。
宇部マテリアルズと日本タングステンは11日、次世代の大容量半導体用メモリーなどの研究開発に使われる酸化マグネシウムのスパッタリングターゲットを共同開発し、製造を始めたと発表した。
【厚木】昭和真空は水晶部品のベース電極を成膜するスパッタリング装置「SPC―1000W=写真」を10日に発売する。
【厚木】昭和真空は光学部品向け反射防止膜(AR)成膜用スパッタリング装置「SPS―208CW」を完成、10日に発売する。... 同社はこれまでAR成膜用に蒸着装置を製造販売しているが、...
大型液晶ディスプレーのスパッタリングターゲット材や、風力発電機・航空機のタービン翼の加工・メンテナンスなどに使われる。
高周波スパッタリング法やイオン注入法など高価な設備を使用する従来手法と異なり、製造コストを大幅に抑えられるほか、低温で製造することができるため、製造に使用するエネルギーも節約できる。
【川越】高純度化学研究所(埼玉県坂戸市、寶地戸道雄社長、049・284・1511)は、スパッタリングターゲット(写真)など薄膜形成材料や研究材料の増産を目的に、約25億...
