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記録媒体のスパッタリングや医療機器開発の現場、研究施設などでの高精度の測定に向く。

同社の製品はスパッタリングによって酸化インジウムスズ膜を形成し、透明性が高い。

新製法により真空スパッタリング装置の100分の1以下の費用で透明導電性フィルムなどへの加工が可能。

この装置を核に、自社の洗浄機や他社から調達するレーザーエッチング装置、スパッタリング装置などを組み合わせる「ラインエンジニアリング事業」も展開する。

成膜方式もITOのスパッタリングと方式が異なり大型化、量産装置の開発が急がれている。

研究グループでは、スパッタリングなどの方法で電極を作製することにより、分極現象が解消できるとみて、新型検出器の試作に着手している。

アルバックは液晶ディスプレーのカラーフィルター基板向け縦型インラインスパッタリング装置2機種を発売した。

従来の電解メッキやスパッタリングに比べてプロセス工程を簡略化できるため、従来方法より低価格、短納期が可能になる。

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