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記事検索結果
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【京都】堀場製作所子会社の堀場エステック(京都市南区、堀場弾社長)は、ウエハーの膜厚測定や欠陥分析、組成分析など半導体製造で重要な検査を1台で対応できる全自動薄膜検...
直径8、12インチのウエハーに対応し、処理枚数は25枚と50枚の2種類。... ウエハー上のゴミや金属、有機物などを取り除く洗浄工程では主にRCA洗浄を用いる。... ウエハー洗浄装置分野への参入をて...
ウエハー上にウエハーを接合しながら接続配線し、何枚も積み上げられる積層(WOW)技術と、チップレットをウエハー上に接合しながらWOW技術で配線する(COW)技術を持つ。...
特徴は、チップレットをウエハー上に接合するチップ・オン・ウエハー(COW)と、ウエハー上にウエハーを接合するウエハー・オン・ウエハー(WOW)技術だ。バンプを使わずに垂...
菊陽町の生産拠点では、1月にも半導体ウエハー用研磨剤(CMPスラリー)の生産設備を本格稼働した。... 同材料はウエハー上のレジストに回路パターンをハンコのように押し当てて転写・形成す...
半導体の品質管理にはウエハー上のチリ、ホコリから始まり、原子レベルの欠陥検出など、あらゆる実用技術が投入されてきた。
納入したのは、クリーンルーム内でウエハー上にハンダバンプを形成させる浮遊加熱式トレーレスの専用窒素リフロー装置。回路形成後のウエハーに微細なハンダボールを敷き詰めて装置に投入。... 大和製作所は熱風...
数十枚のウエハー上に薄い膜をつくる「バッチ式」の成膜装置や、成膜後に膜中の不純物を取り除き膜質を改善させるトリートメント装置で世界トップレベルのシェアを占める。... 直径200ミリメートルまでの炭化...
EUV露光装置は回路線幅7ナノメートル以降の回路の微細なパターンをウエハー上に転写露光する技術として先端半導体製造に不可欠となる。
7ナノメートル(ナノは10億分の1)以降の回路の微細なパターンをウエハー上に転写露光する技術として、先端半導体製造に不可欠となる。
電気料金が高い国・地域で導入しやすい上、二酸化炭素(CO2)の排出削減を求める半導体メーカーの需要にも応えられる。... FPA―1200NZ2Cは3次元(3D)の回路...
半導体チップをウエハー上に仮接合して垂直配線を形成後に小さな力で剝離できる。... ウエハー上にシリカ薄膜を低温で形成して剝離層として利用する。... 剝離層を形成してからチップを切り出し、表面を洗浄...
「効率化や歩留まり改善に寄与する装置に比べ、ウエハー上の構造の形成に寄与する装置の方が成長率がより高くなる」。野村証券アナリストの吉岡篤は今後の半導体装置市場をこう予測し、具体例の一つにウエハーを削り...
ウエハー上の必要な場所にだけ非常に薄く成膜する材料で、現在の露光・現像と異なる次世代の回路形成技術に使われる可能性がある。
ただ、開発品が採用されるには、ウエハー上に成膜する際の評価を付加価値として提案することが求められます。
一方、シリコンウエハーやウエハー上に回路形成する「前工程」用材料を手がける企業は先端半導体向けを中心に足元は堅調だ。
【京都】SCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市上京区、後藤正人社長)は、高生産性と高解像度を両立したパターン付きウエハー外観検査装置「ZI―3600&...
半導体製造プロセスでは半導体ウエハー上に微細パターンを作り込むが、微細化の進展に加えてEUVリソグラフィー特有の課題も生じており、要求される加工精度の達成は容易ではない。設計上は直線で加工されたライン...
ナノインプリントは3次元(3D)の回路パターンを形成した原版(マスク)をウエハー上にある感光材の液体樹脂に押しつけながら光を当て、ハンコを押すように回路を転写する。&#...
