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記事検索結果
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フッ化クリプトン(KrF)とi線では300ミリメートルと200ミリメートルの両方のウエハーに対応できるようにする。
4月にはレアガスであるクリプトンとキセノンの製造装置が隣接するように完成。... 同装置とパイプでつながるレアガス製造装置はクリプトンを年間260万リットル、キセノンを同21万リットル生産可能。......
ニコンは24年中に計3機種投入するが、さらに露光の波長別にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線の3機種の装置を投入。
東京高圧山崎は特殊ガス工場で希ガスのネオンやクリプトン、キセノン、その混合ガスを取り扱う。
レジストポリマーは主力のフッ化クリプトン(KrF)用ポリマー向けに加え、超低メタルモノマーや重合開始剤といった川上の素原料と一体で提案。
同社は1997年に同材料事業を立ち上げ、直江津工場(新潟県上越市)で当時最先端のフッ化クリプトン(KrF)フォトレジストの生産を開始。
希ガスはクリプトン(Kr)・キセノン(Xe)の混合ガスと、ネオンの生産設備を設置。... 精製後の生産能力はクリプトンが年産200万リットル、キセノンが同25万リットル...
千葉県君津市に希ガス生産設備を設置し、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)とネオンを生産する。... ネオンは他の希ガスと併産され、先行してクリプトン、キセノンを25年...
24年に稼働予定でクリプトン、キセノンの生産能力は現在の約2倍となる見込みだ。
半導体向け需要拡大 大陽日酸はJFEサンソセンター(広島県福山市)の福山工場に希ガス製造設備を新設しクリプトン(Kr)、キセノン(Xe)...
キヤノンは13日、光源にフッ化クリプトン(KrF)を使う半導体露光装置の生産性向上に成功したと発表した。
希ガスに関しては、国内に輸入するネオン、クリプトン、キセノンのうち6%程度をロシア、ウクライナに依存している。... ネオン、クリプトン、キセノンの生産量について、ロシア、ウクライナの世界シェ...
