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石材強化、文化財保護に貢献 コルコート(東京都大田区、野口由美子社長、03・3762・7481)は、シリケート、機能性コーティング剤の製造販売や透明樹脂の射出成形を手...
1400度C級では、シリコンの融点に近いことから、中間層を含めてコーティングシステムの再設計が必要となっており、トップコートとしてはイッテルビウムシリケート系の材料が検討されている。
CMOSを構成するnMOS、pMOSの電極には金属材料の窒化チタンを使い、絶縁膜にはそれぞれハフニウムシリケート膜を用いた。
尾嶋教授らは、高エネルギー加速器研究機構(KEK)放射光研究施設の放射光(X線)を用い、次世代LSIの絶縁膜として有望な窒化ハフニウムシリケート膜の状態を調べた。