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記事検索結果
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EUV露光プロセスではこれまでのフッ化アルゴン(ArF)液浸など旧来型の露光装置向けと異なり、ペリクルの耐熱性を高める必要があった。
インドでは製鉄所向けの酸素、窒素、アルゴンのオンサイト供給事業を進めている。... 国内でアルゴン供給がタイト化する中、今後は半導体工場向けのオンサイトの大型ASUでアルゴンを製造し、供給する提案も検...
半導体業界の需要は2024年度には回復するとみており、材料の出荷量も増えると考えている」 ―半導体分野では、レジストポリマーは最先端の極端紫外線(EUV)やフッ化アル...
実験中の事故だけでなく大型飛行機の衝突や大規模な自然災害の発生といった場合にも備えて、放水やアルゴンガスの送気で液体ナトリウムを消火する仕組みを設置する。
供給能力は酸素ガスが毎時6万ノルマル立方メートル、窒素ガスが同12万ノルマル立法メートル、液化アルゴンが2100ノルマル立方メートル。
フッ化アルゴン(ArF)などEUVよりも旧世代の光源に多く使われており、自動車や産業機器など幅広い製品に搭載される半導体の製造に用いることから、中長期的な需要拡大が見込まれる。 ...
安全性向上へ資格取得支援 鈴商総合ガスセンター(埼玉県上尾市、熊沢秀社長)は、高圧ガスの中でも使用量が多い酸素・窒素・アルゴン・二酸化炭素を親会社の鈴木商館(...
さらに大型飛行機の衝突や大規模な自然災害が発生した場合の火災などに対する対策として、放水設備やアルゴンガスを送気して液体ナトリウムの燃焼を抑える設備を設置する。
二つの電極でワイヤを挟み、内部にアルゴンとブタンの混合ガスを封入した。... 粒子線がモニターに侵入すると陽子や炭素原子がアルゴン原子とぶつかり、電子をはじき出す。
大気圧・常温でアルゴンガスベースのプラズマを発生させる。... 発売した大気圧プラズマ装置「プラズマタクト」は、100―220ボルトと低電圧の電源を用い、2・4ギガ―2・5ギガヘルツ(ギガは1...
日本の半導体材料各社は、韓国への投資を積極的に続けており、東京応化工業は22年までに韓国仁川市の拠点を増強し、EUVやフッ化アルゴン(ArF)露光向けを中心にレジストの生産能力を18年...
30年度の売上高倍増に向け、既存事業では精密洗浄サービスの拠点拡充や、フッ化アルゴン(ArF)光源レジスト用ポリマーおよび洗浄用薬剤などの増産を検討。
