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記事検索結果
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内視鏡や体外診断(IVD)システムに加え、先端半導体に使われるフォトリソグラフィー周辺材料などがけん引する。
半導体の品質向上にスラリーで貢献したい」 ―極端紫外線(EUV)リソグラフィーの関連事業の立ち上げを検討しています。 「EUV光源を使ったフォトリソ...
そういったデバイスのほとんどはフォトリソグラフィーと呼ばれる技術によって製造されているが、この技術は真空を多用し、いったん基板全体に成膜した後に不要な材料を取り去るという減算的手法のため材料の利用効率...
極小の金属細線を格子状に配線するメタルメッシュセンサーは、フォトマスクを使って現像やエッチングをする「フォトリソグラフィー方式」が主流だった。
だが70年代後半には、ガラス基板上に感光剤(レジスト)を塗布し、フォトマスクを使って現像やエッチングをする「フォトリソグラフィー方式」に移る。
工業生産に適したフォトリソグラフィー法を使って、従来比100万倍のスピードで作る。... 今回、電子線リソグラフィーより生産性が高く、半導体製造で一般的なフォトリソグラフィー法を採用。最先端のフッ化ア...
フォトリソグラフィーで作製した共振器としては世界最高となる光の閉じ込め性能(Q値=2・2×10の5乗)を達成した。
従来のフォトリソグラフィー方式に比べ設備投資は半分以下に抑えられるという。... フォトリソグラフィー方式に比べ工程数やランニングコストも低減できる。
オジックテクノロジーズの精密電鋳は、半導体の回路製作でも使われているフォトリソグラフィー(露光)工程と電鋳工程からなる。
従来TFT製造に必要なフォトリソグラフィー(露光装置)が不要で、製造にかかわる装置コストを100分の1程度に抑えられる。
SADPは通常のフォトリソグラフィー工程と同様に形成したレジストパターンをコアにし、その両端に二酸化ケイ素を成分とするパターンを形成。... 次世代技術の極端紫外線(EUV)リソグラフ...
基礎となるのが「フォトエレクトロフォーミング」技術だ。フォトリソグラフィー(露光)と電気鋳造(電鋳)技術を組み合わせたもので、超精密加工に適している。 ...
露光で回路パターンを形成するフォトリソグラフィー工程の後、加熱して硬化収縮させる。 ... 従来のスクリーン印刷方式では配線の微細化が難しいことから、蒸着やフォトリソグラフィー方式へ...