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記事検索結果
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【京都】SCREENホールディングス(HD)は直径200ミリメートルまでのウエハーサイズ対応で、構造をシンプルにして価格を抑えた枚葉式洗浄装置「SP―2100=写真」を発売した...
新工場は主に枚葉式洗浄装置を製造する計画。白瀬社長は「枚葉式洗浄装置の売り上げは約40%増を見込む」としている。
芝浦メカトロニクスは、最大6層まで積層成膜可能な高速・多層枚葉式スパッタリング装置「BM―900」シリーズを開発した。... ワーク(加工対象物)を1個ずつ流す枚葉式で、芝浦メカトロニ...
伊LPE(ロンバルディア州)は2日、パワー半導体向けの枚葉式炭化ケイ素(SiC)エピ成膜装置「PE1〇6A(イチマルロクエー)」を日本市場に投入すると発...
自動車部品向けには1個流しで自動化が容易な多層枚葉式スパッタリング装置「BM―700」の模型を展示する。 【エドワーズ/小型空冷式ドライ真空ポンプ】 エド...
KOKUSAIのバッチ式プロセス装置は作業時間が短く、高い処理能力を誇る。アプライドはKOKUSAIを、バッチ式プロセス装置のリーディングカンパニーと位置付けている。... アプライドは枚葉式プロセス...
芝浦メカトロニクスは高速枚葉式スパッタリング装置「BMシリーズ」を紹介。... 可搬式の架台に真空機器を集約してコンパクト化した。
(3回掲載) 【荏原/空冷方式を採用設置しやすく】 荏原は半導体産業向けの精密製造技術を生かして開...
【相模原】芝浦メカトロニクスは生産の効率化やコスト低減を図れる高速枚葉式スパッタリング装置を開発し8月中に発売する。... 開発した高速枚葉式スパッタリング装置は、ワーク(加工対象物)...
もちろん、ここでの注目点は半導体製造装置であり、主に酸化薄膜形成に使われる縦型熱処理炉と枚葉式熱処理装置がある。
ロール式、枚葉式の基板に対応でき、両面に小径ビアホールがある基板に適している。
洗浄装置の中でも枚葉式のスプレー洗浄装置(スプレー方式の個別洗浄)のほかバッチ式洗浄装置(薬液による複数一括洗浄)、スピンスクラバー(ブラシ、純水による物理洗浄...
「台数では枚葉式がバッチ式洗浄装置を上回るが、半導体が立体的になるにつれ、深い穴を洗浄できるバッチ式も伸びている。... 当社には業界標準の枚葉式洗浄装置があるが、さらに高い生産性が必要になると考え、...
【京都】SCREENホールディングスの事業会社であるSCREENセミコンダクターソリューションズ(京都市上京区)は1日、半導体ウエハーの枚葉式洗浄装置で処理能力を高めた機種「SU―33...
【京都】SCREENホールディングス(HD)は、精密グラビアオフセット枚葉式印刷装置「UP―5000S=写真」を開発した。
1枚ずつ処理する枚葉式で、300ミリ×400ミリメートルサイズのフィルム状基板に対応する。
SCREENセミコンダクターソリューションズは、今回の共同開発契約に基づき、最新の枚葉式洗浄装置をimecに設置する。
ニューフレアテクノロジーは枚葉式を採用した発光ダイオード(LED)向けMOCVD(有機金属気相成長)装置を製品化し、受注を始めた。バッチ式に比べて膜質・膜厚を均一にして...
