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記事検索結果
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【プラズマ腐食】 半導体デバイスの主要製造プロセスの一つにプラズマエッチングがある。シリコンウエハーなどを腐食性ガスのプラズマにさらして、溝や穴などの微細加工を施す工程である。......
隣り合う二つの電極に異なる被膜材料を持たせて交互にプラズマ放電させることで多層保護膜を生成することも可能にした。
【東京電子/高品質成膜を実現する電源】 東京電子(東京都板橋区、03・3969・4156)は、注目を集めている成膜技術「HiPIMS」用電源として高プラズマ...
【優れた高分解能で同時制御が可能−フォーユー】 フォーユー(埼玉県松伏町、048・971・7389)が出展する独PLASUSのEMICONシステム(写真...
シンクロン/薄膜形成装置中心に展示 シンクロン(横浜市西区、045・650・2400)は、コア技術であるプラズマプロセスを用いた各種薄膜...
▽ユニオンネット(大阪市北区)=関西に特化した飲食店などのアイドルタイムを利用した中小企業向けプロモーションビデオ(PV)制作支援システム▽アジャアジャ(...
まず高エネルギー加速器を超小型化できるレーザープラズマ加速や、超電導車両の実用化につながるセラミックス接合などの技術テーマを文科省が設定する。
【名古屋】名古屋大学プラズマ医療科学国際イノベーションセンターの堀勝センター長らの研究グループは、低温プラズマの活用でシュウ酸の合成、シュウ酸カルシウムの結晶化を数分、1プロセスで可能にする手法を発見...
同衛星に設置した電子源が電子を宇宙空間に放出すると、宇宙空間に漂うプラズマ中の電子がワイヤに取り込まれ、ワイヤに電流が流れる。
サムコUCPの主力製品のリモートプラズマ洗浄装置は主要顧客がマレーシアなどに集中しており、協力して売り込む。
直径15マイクロ―105マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の粉末をプラズマで溶融させ、基材に吹き付ける。
宇宙航空研究開発機構(JAXA)宇宙科学研究所太陽系科学研究系の長谷川洋助教、同研究所の北村成寿GEOTAILプロジェクト宇宙航空プロジェクト研究員らは、宇宙空間でオーロラ発生の原因で...
ノルスクがラピッド・プラズマ・デポジション(RPD)プロセスで製造した試験機を、ボーイングが試験・評価する。
プラズマ発生装置の拡販にもつなげる。 魁半導体は、電極などプラズマ発生の方法や処理に使う雰囲気ガスの工夫などで、チューブ内面など複雑形状部材の親水化を可能にした。... プラズマは電...
細胞内のシグナル伝達で重要な役割を果たすたんぱく質の一種「BLNK」を作れなくしたマウスに抗原を投与したところ、IgE型B細胞が死なずに免疫記憶に関わる「記憶B細胞」や「長期生存プラズマ細胞」が形成さ...
シャープは13日、衣類の傷みや縮みを抑えて汚れを落とすドラム式のプラズマクラスター洗濯乾燥機2機種を8月4日に発売すると発表した。
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(...
具体的には、弱い静電場と楕円(だえん)偏光した高強度のナノ秒レーザー電場を併用して気体分子を3次元配向する既存手法に、独自開発のプラズマシャッター技術を導入した。
同装置は真空層に二酸化ケイ素などの原料ガスとレンズ基板を入れ、プラズマを放射し成膜する。
