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活況!半導体露光装置(下)ニコン 中古i線装置、販売好調 (2022/3/17 電機・電子部品・情報・通信)

「構造改革後、特定の顧客に対してフッ化アルゴン(ArF)液浸を売ってきたが、現在は新しい顧客にも売り込んでいこうとしている。

活況!半導体露光装置(中)ASMLジャパン、最先端EUVの開発継続 (2022/3/16 電機・電子部品・情報・通信)

ただ、半導体はEUVだけではできず、フッ化アルゴン(ArF)液浸、ArFドライ、フッ化クリプトン(KrF)、i線まで含めた装置が必要になり、引き続きそれらの装置の改善も...

需要が増加するArF(フッ化アルゴン)レジストやEUV(極端紫外線)レジスト向けの新規材料の研究開発を推進し、高品質化の要望に対応する。

特に、光源にフッ化アルゴン(ArF)ドライ、ArF液浸を使用した先端分野の装置が伸びるという。

エア・ウォーターの産業ガス事業は鉄の製造に必要な酸素や半導体の製造に使う窒素のほか、アルゴン、水素、炭酸ガス(二酸化炭素)、ヘリウムなどを手がける。

エコガスはアーク溶接(マグ・ミグ溶接)において溶融金属と空気の接触を断つためのアルゴン(Ar)や二酸化炭素からなるシールドガスの使用量を電気的に自動制御する。

ダイトーケミックス、福井に新工場棟 感光性樹脂増産 (2022/1/24 素材・医療・ヘルスケア)

フッ化アルゴン(ArF)に対応した品目を生産し、同品目の生産能力は福井工場の既存分と合わせて2・5倍となる。

エア・ウォーターのエレクトロニクス向け産業ガス関連事業は、酸素や窒素、アルゴンなどの産業ガスを工場内や近隣に設備を置いて供給するほか、ガス純度を高める精製装置や半導体製造プロセスで排出されるガスの処理...

研究グループは大気の第3成分であるアルゴンの存在を確かめるため、走査型電子顕微鏡(SEM)などを用いた新しい検出手法を開発。... その結果、窒素、酸素、アルゴンの存在を直接観測できた...

研究グループはチタン合金を用いたレーザー照射で、従来のアルゴンガスと比熱容量が異なるガスを用いて流路を最適化させ、造形体の金属組織の強度や硬さといった力学特性が制御できることを突きとめた。

生産能力は酸素が毎時4万8000ノルマル立方メートル、窒素が同8万2000ノルマル立方メートル、液化アルゴンが同1580ノルマル立方メートルで、2023年12月末に稼働を始める予定。 ...

アーク溶接(マグ・ミグ溶接)で、溶融金属と空気の接触を断つ二酸化炭素やアルゴン(Ar)などのシールドガス使用量を電気的に自動制御する。

ダイセルのフッ化アルゴン(ArF)レジスト用ポリマー事業は05年頃に立ち上がり、10年頃からシェアが拡大し始めたという。

特殊アクリル酸エステルの一つとしてArF(フッ化アルゴン)レジスト用モノマーを展開し、引き合いは好調。

住友化学、韓でフォトレジスト 需要増・BCP対応 (2021/9/1 素材・医療・ヘルスケア)

100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。

フッ化アルゴン(ArF)液浸露光向けに加え、半導体の微細化に伴って高まることが予想されるEUV露光向けの需要拡大に応える。

ArF(フッ化アルゴン)液浸露光向けを中心に販売は好調で、今後は5Gなどの普及で需要増加が見込まれる最先端の極端紫外線(EUV)露光向けを拡販する。

半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。

日本酸素、タイに産業ガス新プラント 4基目稼働 (2021/8/2 素材・医療・ヘルスケア)

空気分離装置で液化酸素や液化アルゴンなどを抽出し、自動車、電子部品、食品メーカーなど向けに提供する。

半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。

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