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テクノ学び隊(144)きょうのテーマ−EUV露光技術（2009/1/15）

露光光源は波長436ナノメートルの可視光線「g線」から同365ナノメートルの紫外線「i線」、同248ナノメートルの「フッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザー」へと順に移行。

一方で、ArFドライ露光装置のほか、普及機に相当するフッ化クリプトン(KrF)やi線を光源に採用した露光装置は、受注が弱含んでいる」 ―受注低迷はメモリーの市況悪化が背景にあり...

受注低迷期を行く(4)ニコン取締役兼専務執行役員・牛田一雄氏（2008/11/18）

「露光光源にi線やフッ化クリプトン(KrF)を用いた1世代前の露光装置は増産目的のため受注が減少。

三菱電機/寿命は4万時間LED照明（2008/11/3）

消費電力はミニクリプトン電球の約7分の1、寿命は約20倍の4万時間。

需要を読む(11)ASML市場調査部長のアントニオ・メスキーダ氏（2008/10/27）

また、ArF液浸露光装置が必要なのはトランジスタ配線層が30あるうち4―5層のみで、残りの25―26層は装置価格の安い一世代前のKrF(フッ化クリプトン)やArFドライ露光装置を用いる...

ニュース拡大鏡/ArF液浸露光装置、販売好調（2008/8/22）

半導体露光装置も光源にi線やフッ化クリプトン(KrF)を採用した一世代前のタイプの受注・販売は徐々に減少している。

勝つ/細渕電球(2)米・鉄道信号電球を制す（2008/7/2）

クリプトンガスの採用だ。当時の電球業界では「クリプトン球は明るいが、製造時に危険を伴う」といわれていた。しかし手作り歴の長い千葉らにしてみれば「クリプトンガスはアセチレンガスと同じように扱える簡単なも...

三菱電機/LEDダウンライト消費電力7分の1 （2008/6/2）

ミニクリプトン電球に比べ、消費電力は7.6ワットと約7分の1の低消費電力で済み、寿命は4万時間と約20倍の長さ。

装置が支える半導体・液晶(4)32ナノ、解像度向上が課題（2008/6/2）

露光光源の短波長化は、チップ上の回路線幅がマイクロメートルからナノメートル単位に微細化するに連れて、波長436ナノメートルのg線から同365ナノメートルのi線、同248ナノメートルのフッ化クリプトン&...

装置が支える半導体・液晶(3)先端向けArF液浸伸びる（2008/5/19）

露光光源は半導体回路の微細化が進むに連れて、波長436ナノメートルの可視光線「g線」から365ナノメートルの紫外線「i線」、さらに248ナノメートルの「フッ化クリプトン(KrF)エキシ...

日本IBMなど7社、コンテンツ制作で「コミュニティ」設立（2008/4/2）

日本IBMなどとともに参加するのは、オートデスク、鹿島、クリプトン・フューチャー・メディア、マイクロソフト、ワコム。

分析・半導体市場(14)キヤノン専務・市川潤二氏（2008/3/24）

同248ナノメートルのフッ化クリプトン(KrF)露光装置もスループットを向上した機種を投入する」 ―半導体の回路微細化に対応したArF露光装置の受注見通しは。