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記事検索結果
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先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発につまずき苦戦してきたが、ここに来て同社が得意とするi線(波長365ナノメートル〈ナノは10億分の1〉)、フッ化クリプトン&...
キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸装置の開発が順調にいかず、露光装置業界でオランダのASML、ニコンの後塵(こうじん)を拝してきた。
既存のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置で2回必要になる処理が1回で済む。装置価格もArF液浸よりも大幅に安いため、東芝は製造コストを大幅に低減できるとみる。
キヤノンは先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の開発につまずき、オランダのASML、ニコンとの競争にさえ加われない状況が続いた。... 先端のArF液浸装置はASMLが8割以上の...
最先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸フォトリソグラフィーを使い、プロセスを工夫するなどして、30センチメートルシリコンウエハーの全面に光ナノ共振器を高い精度で作製した。 ...
フィールド評価では、発信波長KrFレーザー向けで開始し、次に同ArFレーザーにも適用していく計画。
ニコンは、フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置の新製品「NSR―S631E=写真」を発売した。... 先端のArF液浸では複数回に分け回路パターンを露光し、線幅を微細化する「多...
「当面は従来のフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザーが主力だろうが、EUVやICを立体的に接続する3次元(3D)実装といった”次“に対応できる体制づくりも進めている。
EUVは光源の出力不足を解消できず、フッ化アルゴンエキシマレーザー(ArF)の延命で対応してきた。
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー方式を延命して微細化に対応してきたが、限界に達しつつある。
フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー方式を延命して微細化に対応してきたが、限界に達しつつある。
6日に開かれるASEAN地域フォーラム(ARF)閣僚会合など一連の会議では、中国が一方的に岩礁を埋め立て、軍事拠点化を進めている南シナ海情勢が中心議題になる見通し。
5日にASEANと日本や中国など各国との個別会議、6日にASEANプラス3(日中韓)と東アジアサミットの外相会議、ASEAN地域フォーラム(ARF)閣僚会議が開かれる。...
G450Cは、450ミリメートルウエハーによる半導体製造の実用化を目指して活動しており、ニコンは2013年に先端のフッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置を受注し、スケジュール通りに出荷し...
新工場ではフッ化クリプトン(KrF)エキシマレーザーやフッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー向けフォトレジストを生産する見通し。
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、ArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザーの最新モデル「GT64A...
半導体製造装置事業では、先端技術を採用した「ArF液浸装置」の顧客への導入のずれ込みなどを受けて、販売台数を想定の半分となる9台に修正。
ニコンは微細加工能力と生産性を高めたフッ化アルゴン(ArF)半導体露光装置「NSR―S322F=写真」を、12月に発売すると26日発表した。
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市)は、同社のArF液浸レーザー「GTシリーズ」向けのガス消費量削減技術「eTGM」を期限付きで無償提供する。 ...
