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同社は計300億円を投資し、直江津工場(新潟県上越市)で主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力を現状比1・3倍、台湾では多層レジスト材料の生産能力を同1...
世界的に供給不足が懸念されるヘリウムガスを用いた一般的な気密度試験装置「リークディテクタ」に代わり、安価なアルゴンガスなど別の気体を用いて自動車部品などの気密試験が行える「アルゴンリークディテクタ&#...
現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわずか数層で、大半は液浸フッ化アルゴン(ArF)露光という。
VISTA/アルゴンガスでリークチェック VISTA(山梨県富士吉田市、0555・23・0501)は、アルゴンガスや窒素ガス、大気などを用いて、光学式の気密...
ヘリウムガス代替で注目 VISTA(山梨県富士吉田市、大迫信治社長、0555・23・0501)が開発したアルゴンガスで気密部品をリークテストできる「アルゴンリークディ...
直江津工場で製造するレジスト製品のうち、主力のフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストの生産能力が現状比1・3倍、台湾では主力製品である多層レジスト材料の生産能力が同1・5倍となる。
同社によれば、国内での食品添加用アルゴンガスの製造は初の試み。... アルゴンガスは2019年6月から国内で食品添加物として利用が認められている。岡谷酸素は20年3月にアルゴンガスの食品営業許可...
SIGVNはベトナム南部のビンズン省にプラントがあり、2012年から窒素や酸素、アルゴンの製造・販売を行う。
半導体プロセスで使われるTEOSやHMDS(ヘキサメチルジシラザン)など液体原料と窒素やアルゴンなどのキャリアガスを混ぜて気体化、プラズマ処理して粉体や多孔体を生成する。
アルゴンや窒素など取り扱いやすいガスを固体フッ素樹脂に照射して、フッ素を含んだガスを発生させる。
メッキ層の分析に役立つとして、日本電子製のアルゴンイオンビームを使用して断面試料を作成する装置「クロスセクションポリッシャ」などを導入した。
大阪工場では、高機能な半導体の主要な製造プロセスとなっているフッ化アルゴン(ArF)露光向けのレジストの生産能力を増やす。
地球規模でのアルゴンの大循環機構の解明が期待される。 ... 海水中のアルゴンは海洋プレートに取り込まれ、海溝から地球深部に沈み込む。だが、どのようにアルゴンがより深部に運ばれるかは...
AWはインド東部と南部で、製鉄所向けに産業ガス(酸素・窒素・アルゴン)の製造・販売・供給を行う。
フッ化アルゴン(ArF)用や極端紫外線(EUV)用のレジスト材料を、半導体レジストメーカー向けに供給する。
大陽日酸は液化ガスローリーで供給する酸素や窒素、アルゴンの受注締め切り時間を、10月から3時間繰り上げる。... 酸素や窒素、アルゴンは半導体製造や医療用途などに使われ、圧縮してローリーなどで輸送する...
