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JSRの4―12月期、営業益28%減 (2017/1/31 素材・ヘルスケア・環境)

CMPスラリー(研磨材)など半導体材料が好調だった多角化事業も同27・3%減の135億円と苦戦した。

中国を中心としたスマートフォン需要の拡大を受け、ダイボンディング材料やCMPスラリー(研磨材)などが引き続き伸びるとみる。

90年代には、ウエハー表面を平たんにする加工研磨工程「CMP」の研磨剤に参入。

台湾法人は新竹市の2工場で現像液やフォトレジスト、CMPスラリー(研磨材)、イメージセンサー用材料などを供給している。

挑戦する企業/富士フイルムHD(8)最先端で臨む半導体材料 (2016/11/11 素材・ヘルスケア・環境)

ここ数年はスマートフォンの大画面・薄型化や高精細カメラの搭載といった波に乗り、主力のフォトレジストやCMPスラリー(研磨材)は年率20―30%で伸長。... TSMCなど半導体...

インタビュー/荏原社長・前田東一氏「事業構造転換に軸足」 (2016/7/26 機械・ロボット・航空機1)

主力製品であるCMP(化学機械研磨)装置はさらに伸びが期待できる。

日立化成、ウエハー研磨液で特許取得 (2016/7/13 素材・ヘルスケア・環境)

日立化成は12日、半導体ウエハー表面の研磨に使う高純度の酸化セリウム粒子系CMPスラリー(化学的機械研磨液)について、基本特許第5882659号を取得したと発表した。... 日立化成は...

荏原、CMP装置を累計2千台出荷 (2016/6/1 機械・航空機2)

荏原のCMP(化学機械研磨)装置の累計出荷台数が2000台に達した。CMP装置は半導体チップの製造過程で、科学的・機械的に研磨することにより、ナノメートル(ナノは100万分の1...

約68億円を投じて熊本事業所(熊本県南関町)に、半導体向けCMP(化学的機械研磨)装置などの生産棟を新設する。... 微細化が進む中で、CMPの使われる回数も増えている...

荏原、新工場増設の起工式 (2016/3/31 機械・ロボット・航空機2)

半導体向けCMP(化学的機械研磨)装置を増産するため、既存工場と同規模の新工場と、ドライ真空ポンプのサービス工場を新設する。

荏原、熊本事業所を拡張−半導体製造装置向けの工場建設 (2016/2/16 機械・ロボット・航空機2)

半導体向けCMP(化学的機械研磨)装置などの生産棟のほか、ドライ真空ポンプのアフターサービスを手がける新棟を整備、現行の熊本工場を拡張する。

展望2016/荏原社長・前田東一氏「原油安も動く案件に照準」 (2016/1/25 機械・ロボット・航空機1)

原油安でも動く案件はあるので、ターゲットをしっかり定めて受注活動を行う」 ―半導体向けCMP(化学的機械研磨)装置は堅調で、コンプレッサー・タービンの落ち込みを補った...

富士フイルム、台湾に新工場−半導体材を生産 (2016/1/20 素材・ヘルスケア・環境)

8月にも現像液の生産を始め、追ってフォトレジストや銅配線を加工するCMPスラリー(研磨材)などの生産も検討する。

このため、銅配線用CMP(化学的機械的平坦化)向けにスラリー研磨材の需要が高まっている。 理由としては、(1)CMPスラリーの砥粒にはシリカを用いるこ...

富士フイルムはフォトレジストや洗浄液、CMPスラリー(研磨材)を生産している。

TSVの膨張破損を防ぐ方法に関しては、ベルギーの半導体研究機関のIMECが、機械的な研磨と化学的な処理を同時に行う研磨加工「化学的機械研磨」(CMP)の工程を提唱している。

ワーク表面を平滑にする化学的機械研磨(CMP)装置も導入する。

ニューヨーク州立大と米国の半導体製造技術研究組合「セマテック」の共同プロジェクトであるCMPセンターに参加し、回路線幅が10ナノメートル(ナノは10億分の1)、7ナノメートルの次世代半...

CMP後に使う洗浄剤の市場規模は約150億円。... CMPは高性能化で配線幅の微細化が進む半導体向け加工技術。... CMP関連では今年に入り、JSRが配線層の平たんを維持しつつ傷も付けにくくしたこ...

ガラス研磨剤のセリウムは、半導体ガラスは韓国メーカーにとって代わられ、CMP研磨の世界ではリサイクルでの使用が定着。

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