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インタビュー／荏原取締役執行役専務・辻村学氏「進む微細化、需要増に対応」
(2016/4/12 05:00)
荏原は半導体製造装置事業で、２００１年以来の大型投資に踏み切る。約６８億円を投じて熊本事業所（熊本県南関町）に、半導体向けＣＭＰ（化学的機械研磨）装置などの生産...
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(2016/4/12 05:00)
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