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今後投資を積極化し、四日市での直径300ミリメートルウエハーの生産能力を11年末に09年末比1・3―1・4倍に引き上げる計画だ。

まず月内に直径4インチの炭化ケイ素(SiC)ウエハーの取り扱いを始める。... 月内に始めるSiCウエハーの価格は1枚6万―9万円。... 現在はタンケブルーの2インチ、3インチのSi...

【京都】サムコは6日、シリコン貫通電極(TSV)向けに開発した直径300ミリメートル(12インチ)ウエハー用の絶縁膜形成装置「PD―330STC=写真」を13日...

SiCウエハーは試作段階で数社から購入しているが、量産でも複数社から調達する見通しだ。

ウエハーに回路を形成する「前工程」を担うパワーデバイス製作所熊本工場(熊本県合志市)と、組み立て・検査する「後工程」を手がけるパワーデバイス製作所福岡工場(福岡市西区)...

特に太陽電池向けゲルマニウム単結晶ウエハーは「大手メーカーからも引き合いが増加している」とうれしい悲鳴。

ウエハーの反り、厚みバラつきを、それぞれ4―5割低減する。... 発光ダイオード(LED)基板に使う同ウエハーは現在、直径4インチが主流。... タカトリは新技術の開発に向け、本社工場...

また、ウエハーへの水滴の影響を抑えるトップコートをレジストに組み合わせる方法も確立した。

食品や半導体ウエハーといった工業用材料などに含まれる金属の種類と量を、ナノグラム(ナノは10億分の1)レベルで検出する。

また、人手がかかるスライス後のウエハー洗浄・検査工程は、洗浄用カセットのウエハー出し入れの自動化と、画像検査が行えるラインの導入を進める。

■中部■■■■■■ 【静岡県】▽ワーク内面拘束による溶接加工品高精度化治工具の商品化〈量産設計・試作評価・販路開拓〉(フジマシン)▽粗いメッシュロール〈高容積塗布ロー...

だが高速で回転するため破損の危険もありウエハーの薄型化に伴い対策が課題になっている。

エッチングの仕組みは、装置の中でマイクロ波プラズマがガスをイオンに分解し、そのイオンがウエハー表面に叩きつけられて絶縁膜などが蒸発するというもの。

レンズと半導体ウエハーの間に水をはさんで微細化精度を高める液浸装置ではオランダのASMLとつばぜり合いが続く。

SiCを使ったウエハー上に結晶膜を形成する。

微細化を進め、同一のウエハーからとれるチップ数を増やすことで、コスト競争力を高める。

▽ヒラノファステック(徳島市)=材料削減と高強度化を実現する新規六角ボルト転造加工システムの開発▽徳島電制(同)=多結晶太陽電池ウエハーの高精度欠陥検査...

ウエハーを空気で浮かせ、測定時のたわみを防ぐ機構を採用した。... ウエハーの表裏両面に非接触で測定できるため、測定の際にゴミや傷などが付く心配が少ない。... ウエハーのセットは手動だが、今後、自動...

ITRIの3次元実装コンソーシアム(Ad―STAC)と、ウエハー単位で積層する3次元化技術の開発を進めるWOWアライアンスが組み、3次元LSIの実用化を目指す。

これによるウエハー強度低下を補うため、保護板を仮止して、製造作業を行うが、プラズマCVDで形成する絶縁膜の性能を高め、デバイスの信頼性向上には280度C程度に温度を上げる必要がある。 従来は高...

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