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記事検索結果
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スパッタリング法や真空蒸着法などの真空成膜プロセスで形成されているが、基板の形状が平面に限定され、立体物の表面、特に筒の内面には成膜できないことがCNT黒体の実製品への応用を阻んできた。 &#...
そこでSIMS分析時にスパッタリングして放出された粒子の中に原子発光線を生じるものがあることに着目。
【千葉】ナノテック(千葉県柏市、中森秀樹社長、04・7135・6111)は、カーボン材料のスパッタリング技術の応用展開を強化する。... HiPIMSはパルス波にし...
現地子会社のアサヒマス板硝子が運営するチカンペック工場(西ジャワ州)に、スパッタリング法を用いてガラスにLow―E膜を形成するオフラインの加工設備を新設する。
片面ずつしか加工できない従来のスパッタリング工法に比べて生産コストの5割削減を可能にする。... ただ、薄い樹脂フィルム上に金属膜を形成するスパッタリング工法はコストが高く、生産性が低いため、より安価...
ただアルゴンでは物理的な洗浄となるため、スパッタリングで銀が周辺に再付着し輝度低下などを招く課題があった。
京浜ラムテック(横浜市都筑区)は透明導電膜やフレキシブル基板などをスパッタリングする際に用いるコンポーネントを展示。
さらに、真空チャンバーはツールの接続スペースを考慮し上下左右に干渉物のない後方支持タイプとなっており、スパッタリング装置や蒸着装置など、利用目的に応じた運用が可能。 ...
そこで、セラミックスと銅の間に、スパッタリング装置を用いて厚さ0・1マイクロメートル以下のチタンをコーティングすれば接合性の改善が可能と考え、サポイン事業に申し込むことを決断した。
三菱マテリアルは28日、スパッタリングターゲットの「量産技術センター=写真」を三田工場(兵庫県三田市)に新設したと発表した。... 同センターには円筒型と大型平板スパッタリング...
従来、ITO透明電動膜は真空・高温度下で成膜する必要があったが、特許によりスパッタリングする際にアルゴンや酸素などのガス流量を変化させ、チャンバーの電圧・圧力を変えることで常温成膜できる。
椿本は数値制御(NC)装置や、スパッタリング装置向けが得意で、ディスク形カップリングの国内シェアは約2割で3位。
従来の真空蒸着法やスパッタリングなどの成膜法に比べて歩留まりが大幅に向上する。... レンズに反射防止膜など光学薄膜を成膜する場合、従来は真空蒸着法やスパッタリングを用いていたが、一定方向から原料を当...
自社のスパッタリング技術を応用し「新製品や新用途、新需要に展開してきた我々のDNAの見本のような形」とも。
新シリーズは「HiPIMS」と呼ばれるスパッタリング方式を採用し、水素含有量が0―100%までのすべてのDLC膜、カーボン膜の成膜可能だ。
このほか、自動車向け抵抗溶接電極や、半導体スパッタリングターゲット台座、海底ケーブル向け筐(きょう)体などの受注が好調だ。
15年からサンプル出荷している真空スパッタリング装置と真空CVD(化学気相成長)装置を本格投入する。
これまで神鋼はPVD法の一つであるスパッタリング成膜装置に特化していたが、成膜速度が1時間当たり0・5マイクロ―1マイクロメートルと遅いのが弱点だった。
