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記事検索結果
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1968年に日本初の半導体レジストの製造を開始以来、常に世界半導体レジスト大手メーカーの一角を占める。... KrFレジストを6―8回程使用することになるため、1ウエハー当たりのKrFレジストの使用量...
DICは半導体の次世代製造技術として期待されるナノインプリント技術(NIL)に向け、レジスト用の樹脂を開発した。樹脂の構造から再設計することで、レジストマスクに求められるドライエッチン...
三菱化学はディスプレー用色材(カラーレジスト)事業で有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)分野へ本格参入する。... 液晶用カラーレジストの技術を応用した。
JSRとIMECが15年末に同国に設立した合弁会社、EUVレジスト・マニュファクチュアリング&クオリフィケーション・センター(EUV RMQC)に量産用タンク4台と周辺...
だが70年代後半には、ガラス基板上に感光剤(レジスト)を塗布し、フォトマスクを使って現像やエッチングをする「フォトリソグラフィー方式」に移る。
液晶ディスプレー材料も円高のほか、過剰供給による需要縮小が下押しし、保護膜や配向膜、顔料分散レジストなどの材料が伸び悩んだ。
皮膚の角質検査や細胞の画像診断、自動車用塗装膜や半導体レジスト膜の高精度検査が期待される。
リフトオフ法と呼ばれる製法により、セラミックス基板にレジスト材で微細なパターンを描き、その上に白金バリア金配線を蒸着させ、レジスト除去して配線パターンを形成する。
基板上に塗布するレジスト膜表面のマランゴニ対流を制御して、膜厚を均一にすることに成功した。
フィルターの設計に独自技術を施し、ロスなく合成できた結果、対応できるレジスト(感光材)の種類は格段に増えた。
IBMが開発したIMSは、レジストで形成したウエハー上のマスク開口部に溶融ハンダを直接注入して埋め込み、微細なハンダバンプをつくる。今回、JSRが溶融ハンダを埋め込む際の高温に耐えられるレジスト材料を...
日本での研究開発に対し、独米の拠点に次ぐ投資を充てていく」 ―14年に液晶パネル用レジスト大手の英AZエレクトロニック・マテリアルズを買収しました。
