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ＪＳＲとベルギーＩＭＥＣ、ＥＵＶ露光材生産の合弁設立
(2016/2/23 05:00)
ＪＳＲとベルギーの研究機関ＩＭＥＣは２２日、光源に極端紫外線（ＥＵＶ）を用いる露光装置向けリソグラフィー材料を生産する合弁会社を設立したと発表した。ＪＳＲ現地子...
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(2016/2/23 05:00)
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