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事業をスリム化し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。

「MF技術大賞」3製品選定−日鍛工、鍛圧加工技術を顕彰 (2017/1/9 機械・ロボット・航空機)

トリミングでのレーザー加工は高価なアルゴンガスを使用してきたが、安価な窒素ガスでの加工を実現した。

微細加工技術の領域で新たな事業の軸を作りたい」 【記者の目/ナノインプリントに焦点】 早い段階で先端露光技術の一つであるフッ化アルゴン(ArF&#...

ロッテ・ケミカル・ルイジアナ(ルイジアナ州)に酸素と窒素を供給するほか、併産される液化アルゴンはほかのプラントに販売する計画だ。 ASUは空気をコールドボックスで冷却...

このうち55%をLPガス、45%を酸素、窒素、アルゴンといった各種産業ガスが占める。

挑戦する企業/富士フイルムHD(8)最先端で臨む半導体材料 (2016/11/11 素材・ヘルスケア・環境)

フッ化アルゴン(ArF)液浸装置に向けたフォトレジストや周辺材料の開発と検査・評価を支える。

ニコン、国内1000人削減へ 半導体製造装置不振で構造改革 (2016/11/9 電機・電子部品・情報・通信1)

半導体製造装置事業では最大手の蘭ASMLへの対抗は難しいと判断し、最先端の液浸タイプのフッ化アルゴン(ArF)露光装置開発を大幅に縮小する。

現在は空気分離装置(ASU)2機で生産した酸素、窒素、アルゴンガスを東西約10キロメートルに広がるコンビナート全域にパイプラインで供給しており、総延長は30キロメートルに達する。...

「アルゴン溶接」「半自動溶接」「ロウ付け溶接」に対応。

LEDなどの洗浄には、酸化作用のないアルゴンプラズマの利用が一般的。ただアルゴンでは物理的な洗浄となるため、スパッタリングで銀が周辺に再付着し輝度低下などを招く課題があった。

オハラ、マイナス30度Cで駆動するリチウムイオン電池を試作 (2016/9/15 電機・電子部品・情報・通信2)

酸化物系の固体電解質は硫化物系に比べドライルームやアルゴン環境を必要とせず、製造しやすい。

米国ではカリフォルニア州に空気から酸素や窒素、アルゴンといったガスを作り出す19基目の空気分離装置を新設する。

従来、ITO透明電動膜は真空・高温度下で成膜する必要があったが、特許によりスパッタリングする際にアルゴンや酸素などのガス流量を変化させ、チャンバーの電圧・圧力を変えることで常温成膜できる。

ロール部分を密閉構造とし、アルゴンや窒素を入れて不活性化する。

アルゴンや酸素などのガスをイオン化して基材に照射し、コーティング層を除く。

特に溶接難易度が高いチタンやアルミはアルゴン溶接(ティグ溶接)で施工する。

魁半導体、ガスを使わずプラズマ照射できるペン型装置を開発 (2016/6/2 電機・電子部品・情報・通信1)

従来は発生したプラズマを対象物まで届かせるために、窒素やアルゴンなどのガスによる吹き付けが必要だった。

エア・ウォーター、神鋼にオンサイトガス供給 (2016/5/26 素材・ヘルスケア・環境)

1時間当たり製造能力は酸素3万立方メートル、窒素4万立方メートル、アルゴン1000立方メートル。

酸素の除去にはアルゴンガスなどを使うが、手間やコストがかかる。

チタンの酸化を防ぐにはアルゴンガスを使うが、「モヤモヤと漂わせるのがこつ」(同)。

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