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これまで厚みで100マイクロメートル程度だったが、パターン形成するネガ型フォトリソグラフィ技術で透過性能などを向上させたことなどにより同400マイクロメートルに拡大した。

凸版印刷、ガラス製マイクロ流路チップ (2021/10/8 電機・電子部品・情報・通信)

凸版印刷は7日、半導体の製造などに用いるフォトリソグラフィ技術を使用して製造したガラス製マイクロ流路チップ(写真)の試作に成功したと発表した。... 量産...

同社によると、半導体の製造技術でコイルを形成することで世界最小を実現しつつ、既存品と同水準のノイズ除去効果(減衰特性)を確保したという。... 内部のコイルを形成するのに、半導体の製造...

大日印、高精度マーカー開発 搬送位置の誤差1度以下 (2020/5/11 電機・電子部品・情報・通信)

全地球測位システム(GPS)が使えない場所でも誤差10センチメートル未満の測位ができる、産業技術総合研究所(産総研)の高精度なマーカーを独自技術で低コスト化した。......

大日印、EV用薄型・軽量シート型コイル ワイヤレスで大電力伝送 (2019/5/24 電機・電子部品・情報・通信1)

金属の微細加工技術である「高精細フォトリソグラフィ技術」の応用とコイルパターンの最適化で実現した。 ... 同社では走行中充電や飛行ロボット(ドローン)での採用も目指...

東京応化工業は、半導体・液晶ディスプレーの微細化加工のフォトリソグラフィプロセスで用いられる、フォトレジスト(感光性樹脂)・高純度化学薬品を中心とした材料事業、半導体用製造装置などの装...

東京応化工業は半導体・液晶ディスプレー微細化加工のフォトリソグラフィプロセスで用いられるフォトレジスト(感光性樹脂)・高純度化学薬品を中心とした材料事業、半導体用製造装置など装置事業の...

キヤノンは半導体の基板となるシリコンウエハーに回路パターンを投影する「フォトリソグラフィ」技術にマランゴニ対流実験の研究成果を応用。... 歩留まりは25%向上し、11年には関連する技術の特許...

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