記事検索結果

東工大・東京応化、高分子ブロック共重合体を開発線幅7.6ナノの半導体形成（2024/9/3 科学技術・大学）

東京工業大学の早川晃鏡教授、畠山歓助教らは、東京応化工業と共同で、回路線幅7・6ナノメートル(ナノは10億分の1)の半導体の微細加工を可能にする高分子ブロック共重合体を開発した。半導体...

京大、炭素細線で新製造法酸素ドープ型GNR合成（2024/7/30 科学技術・大学）

シリコン半導体加工技術への応用が期待できる。... 半導体微細加工技術として湿式プロセスである金属アシスト化学エッチング法(MACE)が注目されている。金、銀、白金などの貴金属をシリコ...

青海波構造の熱流、温度で方向逆転東大が実証（2024/4/8 科学技術・大学）

半導体微細加工技術でシリコン薄膜に青海波構造を作り、熱が流れる方向を測定した。

高輝度・低消費電力のフォトニック結晶紫外線LED ナイトライドが開発（2023/6/15 電機・電子部品・情報・通信１）

100ナノメートルの微細加工ナイトライド・セミコンダクター(徳島県鳴門市、村本宜彦社長)は、波長385ナノメートル(ナノは10億分の1)の紫外線発光...

第2回ヒロセ賞に藤田博之氏(東京都市大特任教授)、MEMS発展に貢献（2022/7/5 総合３）

藤田特任教授の研究テーマは「微小電気機械システム(MEMS)の先駆的研究とナノ材料評価・バイオ技術への応用」。... 藤田特任教授は受賞者スピーチで「私の研究は半導体微細加工技術をアク...

材料進化の最前線 NIMS最新成果(126)モイスチャーセンサー微小な水滴量判... （2022/4/6 科学技術・大学）

当然、技術移転や共同研究には興味がない。... 半導体微細加工技術によって金属細線の間隔を狭くすると、その分小さい水滴も検知できることを発見し、14年頃に基本特許を出願した。 ......

三井化、蘭ASMLと契約岩国大竹工場に新設備（2019/6/3 素材・医療・ヘルスケア）

三井化学は最先端の半導体微細加工技術である極端紫外(EUV)露光工程向け部材のライセンス契約を蘭ASMLとの間で結んだ。ASMLの技術をもとに、三井化学はEUV露光フォトマスクの防塵カ...

大阪府立産業技術総合研究所の櫻井芳昭研究員と、矢野クローム工業所(大阪市大正区、小佐々明夫代表社員、06・6552・5081)は、軽量で割れにくい透明樹脂であるポリカーボネートに、密着...