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記事検索結果
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住友化学は、鉛フリーの圧電薄膜ウエハーで既存の鉛系材料並みの性能を実現した。... 開発したKNN薄膜の圧電特性の大きさを示す圧電定数(e31)は、1平方メートル当...
住友精密工業は自動運転車などに使うセンサー(感知器)用に、センサー性能が自社従来比最大2倍の圧電式微小電気機械システム(MEMS)を製造できる薄膜加工技術を開発した。M...
微小電気機械システム(MEMS)技術で、世界最薄とされる圧電薄膜アクチュエーター(駆動装置)を作製。... エネルギーや電気信号を物理的な運動に変換する「圧電セラミック...
極薄MEMSデバイス技術により、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)圧電薄膜を搭載した極薄シリコンを複数個フィルム基板上に一体化した極薄MEMSひずみセンサーシートを開発した。... 【五感...
材料探索・成膜で性能向上 【熾烈な開発競争】 窒化物圧電薄膜はウルツ鉱構造を持ち、配向させた薄膜は圧電性を示す。... また、窒化物圧電薄膜の配向性と極性の制御技術...
このペースはしばらく続くだろう」 「複合デバイスは、表面弾性波(SAW)フィルター、圧電薄膜共振子(FBAR)フィルターに加えて、セラミックフィルター...
情報通信研究機構と東北大学、東京工業大学は23日、圧電薄膜の機械振動を利用したシンプルな小型原子時計システムを開発したと発表した。
圧電薄膜のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)をウエハー上に形成する技術によって、素子と駆動部を一体的に作製することができ、薄型化にもつながった。
圧電薄膜を用いた微小電気機械システム(MEMS)技術を生かす。... チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電薄膜に感応膜を塗布した検知素子を使う。... 第一精工はこれま...
研究グループは、窒化アルミニウム圧電薄膜に対し、微小電気機械システム(MEMS)を使い、周辺の振動を電気エネルギーに変換できるようにした。
第一精工は圧電薄膜を用いた微小電気機械システム(MEMS)ミラーデバイスを開発した。... 圧電薄膜にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を使用。... 圧電薄膜に低い電圧を...
電子デバイス分野で、特に表面弾性波(SAW)デバイスや圧電薄膜共振子(FBAR)デバイス、実装基板向けのスパッタリング装置として売り出す。
【京都】第一精工は圧電薄膜を用いた微小電気機械システム(MEMS)センサーを開発した。... 開発したMEMS3軸加速度センサーは、圧電薄膜にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT...
日立金属は21日、鉛を使わない圧電薄膜を用いた3軸角速度センサーを開発したと発表した。... 圧電薄膜は加えられた圧力を電圧に、電圧を圧力にそれぞれ変換する効果を持つ。... 日立金属が圧電薄膜の製膜...
【京都】第一精工は圧電薄膜を使った微小電気機械システム(MEMS)のデバイス分野に参入する。... 圧電MEMSデバイスはジャイロセンサーや振動センサー、高周波(RF)...
太陽誘電は無線部品や圧電薄膜共振器(FBAR)の開発に注力し、高周波部品などの複合デバイスで前期比24%増となる570億円の売り上げを見込む。... 日本電産はハードディスク駆...
【市村産業賞功績賞】 ▽大型高均一GaN基板の量産技術開発(日立電線)▽造影剤を用いずに血管を良好に描出できるMRI装置(東芝メディカルシステムズ)&...
