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東京エレクトロン系、岩手・奥州市に新工場 220億円投資（2023/3/21 総合３）

【盛岡】東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ(山梨県韮崎市、佐々木貞夫社長)は20日、半導体製造装置関連の新工場建設で岩手県奥州市と立地協定を結んだ(...

半導体装置、200mmウエハー復活−IoTに商機（2015/12/16 総合１）

半導体装置メーカー各社が、世代の一つ古い200ミリメートルウエハー向け装置で新製品を投入する動きが相次いでいる。ニコンはウエハーに回路パターンを描く露光装置の新製品の開発を準備、東京エレクトロンは熱処...

河合氏は東京エレクトロンが世界シェアトップの熱処理成膜装置部門長や、次の成長柱と位置付ける洗浄装置部門長などを歴任した。

三井造船、子会社間で事業移管（2010/2/2）

ガソニックスは熱処理・成膜装置などをつくる。一方、エム・イー・エス・アフティは半導体の成膜装置を製造するほか、2009年には三井造船からイオン注入装置の事業部門を譲り受けた。成膜から不純物注入、熱処理...

受注低迷期を行く(1)東京エレクトロン会長・東哲郎氏（2008/11/11）

製造装置メーカーのトップなどに聞く。... 製造装置業界への影響は。 ... 熱処理成膜装置や化学気相成長(CVD)装置、エッチング装置など半導体の回路形成を担う前工程装置を幅...