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住重・高知工大、酸素負イオン照射装置開発 太陽電池製造に応用 （2022/1/17 機械・ロボット・航空機１）
【高知】住友重機械工業は高知工科大学との連携による技術成果を応用し、酸素負イオン照射装置を開発した。... 開発した装置を使った酸素負イオン照射により非加熱、30分で生成が可能とな...
酸化物半導体の成膜プロセス、低温・低電圧で加工 高知工科大・住重が技術 （2019/8/26 科学技術・大学）
【高知】高知工科大学大学院の山本哲也教授らと住友重機械工業の技術研究所は、成膜プロセスで酸素負イオンを用いて酸化物半導体を安定させた上で、同一装置内で特性を変え、機能を付加できる技術を開発した。......
高知工大と住重、成膜と低温・高速酸化を連続処理 触媒など機能性材開発に期待 （2017/2/14 科学技術・大学）
プラズマ薄膜成膜装置内で酸素負イオン(Oマイナス)を用いた。... また、この手法はかける電圧の強弱によって酸素負イオンの浸透時の電荷の状態や浸透量を制御できる。... 酸素負イオンは...
