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新分野に売って出る/P.R.A.技術部設計課・坂本公輝氏−ESC専用電源独自開発 （2018/3/16 モノづくり）
(千葉県松戸市、坂本勝己社長、047・369・3389)は、半導体製造工程で使われる静電吸着(ESC)専用電源を2016年に独自開発した。... 「もともとはESC電源...
