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樹脂にもDLC低温成膜ナノテック、小型装置開発（2023/11/27 総合３）

大電力パルス電源で高密度プラズマを発生させて成膜する大電力マグネトロンスパッタリング(HiPIMS)方式を採用して実現。HiPIMS方式に特化した専用機にすることで価格を抑える。

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(2) （2020/10/15 機械・ロボット・航空機１）

東京電子/高品質のDLC成膜を可能に東京電子(東京都国分寺市、042・329・5090)は、スパッタ用パルス電源「HiPIMS用電源=写真」を出品...

2019真空展/紙上プレビュー(下)芝浦メカトロニクスほか（2019/8/29 機械・ロボット・航空機１）

【東京電子/スパッタ用パルス電源を出展】東京電子(東京都国分寺市、042・329・5090)は、スパッタ用パルス電源「HiPIMS用電源=写真」を...

工具被膜表面良好に (2)新成膜技術(HiPIMS) ...

ナノテック、カーボン材スパッタ技術を応用展開−日産と燃料電池向け装置開発（2016/12/5 機械・ロボット・航空機２）

ナノテックは2012年にカーボン成膜用の「大電力インパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)技術」を確立し、16年には特許も成立している。... また、受託加工の分野でも工具の...

2016真空展・紙上プレビュー(下)島津製作所ほか（2016/8/31 機械・航空機２）

【東京電子/高品質成膜を実現する電源】東京電子(東京都板橋区、03・3969・4156)は、注目を集めている成膜技術「HiPIMS」用電源として高プラズマ...

ナノテック、1台で多種対応のDLC成膜装置投入−用途拡大へ小型・量産機（2016/4/21 機械・ロボット・航空機２）

新シリーズは「HiPIMS」と呼ばれるスパッタリング方式を採用し、水素含有量が0―100%までのすべてのDLC膜、カーボン膜の成膜可能だ。