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記事検索結果
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自社開発のURASHIMAは、高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)に小出力レーザーを照射し、EUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式により検査範囲を...
高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)にレーザーを照射してEUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式により、検査範囲を高輝度で照らし出す。
高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)にレーザーを照射し、EUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式を採用。
高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)にレーザーを照射してEUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式により、検査範囲を高輝度で照らし出す。
高速回転するルツボ内面の溶融スズ(Sn)にレーザーを照射してEUV発光させる独自のレーザー生成プラズマ(LPP)方式により、検査範囲を高輝度で照らし出す。
横型マシニングセンター(MC)「NHCシリーズ」と立型MC「CMX Vシリーズ」の工作機械、自動搬入・搬出装置「LPPシステム」などの自動化システムに加え、工具マガジンやテーブ...
現行の10ナノメートルチップと同じ「ロー・パワー・プラス(LPP)」プロセスで製造され、より微細な電子回路作製への適用が期待される極端紫外線(EUV)露光装置は使わない...
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、浦中克己社長、0285・28・8410)は、開発中の極端紫外線(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ&...
現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源について、最先端半導体量産ラインでの稼働レベルを想定したパイロット光源で80%以上のポテンシャルが確認されたとい...
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(...
ギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源で、出力108ワットの安...
ギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)は開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源で、平均60ワットの24...
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、都丸仁社長、0285・28・8410)は、開発中の極端紫外(EUV)スキャナー用レーザー生成プラズマ...
最大の課題だったEUV光源の出力向上では、従来の放電生成プラズマ(DPP)からレーザー生成プラズマ(LPP)を採用することで実用化の見通しがつきつつある。
