山本電機・東北大など、デジタル微差圧計を小型化−サムスン系に納入

• 

  東北大などと開発した超小型のデジタル微差圧計「マノスターデジタルセンサＱＤＰ３３」

【神戸】山本電機製作所（神戸市長田区、山本博和社長、０７８・６３１・６０００）は、東北大学などと連携し、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）技術を使った業界最小クラスのデジタル微差圧計「マノスターデジタルセンサＱＤＰ３３」を開発した。半導体製造装置に数十個単位で組み込み、最高０・１パスカル単位の空気圧変化を検知し、半導体の歩留まり向上に役立つという。量産体制を整え、韓国のサムスン系半導体製造装置メーカーにまず納入した。

山本電機製作所などはＩｏＴ（モノのインターネット）普及で、半導体市場の拡大を想定し製品化した。内蔵するＭＥＭＳチップは５ミリメートル角で、微差圧計本体のサイズは幅３０ミリ×高さ３０ミリ×奥行き３０ミリメートル。

消費税抜きの価格は、圧力が標準レンジの５００パスカル対応で６万円前後、超微圧レンジの２５パスカル対応で１０万円前後を想定する。初年度に１万２０００個の販売を計画する。

２０１０年秋から専任技術者１人をつけ、東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、ＭＥＭＳ関連ベンチャーのメムス・コア（仙台市泉区）と共同で開発を進めてきた。

今回のＭＥＭＳチップはメムス・コアに生産委託し、山本電機製作所が本社工場のクリーンルーム環境で双腕型ロボットなどを活用し、最終製品にする生産体制を構築した。開発費が累計１億円強、生産設備は金型代を含め約７０００万円を投じた。

山本社長は「新製品を究極のデジタル微差圧計と位置づけた。今後も産学連携でさらなる小型化に取り組む」としている。