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活況！半導体材料／キーパーソンに聞く（７）ＪＳＲ上席執行役員・杉本健氏
(2017/10/18 05:00)
【ＪＳＲ上席執行役員電子材料事業部長】
―極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーを視野に、材料の新会社を立ち上げました。
「ベルギーの研究機関ＩＭＥＣと設立した工場でＥＵＶ用フォトレジストの量産を始めた。まだ量は少ないが、仮に２倍以上の需要規模に育ったとしても問題なく供給できる体...
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(2017/10/18 05:00)
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