好調！半導体製造装置 主要７社、今年度設備投資６５％増

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日本の半導体製造装置メーカーが設備投資を積極化している。東京エレクトロンやＳＣＲＥＥＮホールディングス（ＨＤ）など主要７社の２０１７年度の設備投資は、１６年度比６５％増の１１８６億円となる見通し。ＩｏＴ（モノのインターネット）などの普及に伴い、主流の直径３００ミリメートルウエハーを加工する装置の需要が増加し、同２００ミリメートルウエハー向けの中古装置も枯渇している。各社は旺盛な需要に応えようと、生産体制の整備を急ぐ。

アドバンテストは増産に備え、１８年３月をめどに国内の協力会社やサプライヤーを増やす。装置の組み立てなどを担う協力会社を１、２社、部品や材料を供給するサプライヤーは１０社程度国内で増やす考え。

需要変動を見据え、自社工場の拡大には踏み切らない。１８年３月期連結決算予想は前期比１５・４％増の１８００億円だが「（将来は）２０００億円の生産能力を備える必要がある」（吉田芳明社長）としている。

東京エレクトロンは東京エレクトロン宮城（宮城県大和町）で部品などを保管する「物流棟」や半導体製造装置の開発を行う「新開発棟」を建設中。ＳＣＲＥＥＮホールディングスは主力の半導体洗浄装置や、有機エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）パネル製造装置の研究開発用の設備を導入する見込みだ。

一方、ディスコは１６年度に比較的大きな設備投資を実施しており１７年度は微減となるが、引き続き積極的に投資する姿勢だ。また１９年９月には桑畑工場（広島県呉市）に精密加工装置用の消耗品を製造する新棟を着工し、２１年５月末に完成する。新棟が稼働した後の生産能力は「ほぼ倍近くになる」（関家一馬社長）見通しだ。

米ＳＥＭＩのまとめによると、７―９月の世界の半導体製造装置販売高は前年同期比３０％増の１４３億ドルを記録。四半期の販売高としては過去最高額を３期連続で更新した。今後も日本製の装置販売高は上昇傾向が続き、１８年度にはリーマン・ショック前に迫る１兆８０００億円台になると予測されている。