樹脂フィルムに常温で酸化膜 明電舎が新技術

明電舎はオゾンを使って３０度Ｃ程度の常温で樹脂フィルムに酸化膜を成膜できる技術を開発した。フレキシブル有機エレクトロ・ルミネッセンス（ＥＬ）ディスプレーなどの用途を見込む。

従来のプラズマ技術では１００―１５０度Ｃで成膜していた。低温で成膜するので膜に傷がつきにくい。消費電力も抑えられるため、製造コストも低減できる。すでに専用の装置を実用化しており、年間３０台の販売を目指す。