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三菱電、パワー半導体の後工程自動化 センサーで予知保全
(2018/8/28 05:00)
三菱電機はパワー半導体の製造で、自動化やビッグデータ（大量データ）活用を加速する。ウエハー加工工程で、製造装置の稼働状況を監視して予知保全につなげる取り組みを始めた。加えて収集した加工データと人工知能（ＡＩ）技術を組み合わせて、加工状況を自動判定する取り組みを検討する。検査・組み...
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(2018/8/28 05:00)
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