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物材機構、ダイヤモンド製ＭＥＭＳ開発 高感度・長寿命センサー実現へ
(2018/11/6 05:00)
物質・材料研究機構機能性材料研究拠点の廖梅勇（りょうめいよん）主幹研究員らは、ダイヤモンド製の高品質な微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）を開発した。ダイヤモンド単...
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(2018/11/6 05:00)
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