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ディスコ、半導体製造を効率化 装置・システム開発
(2018/12/7 05:00)
ディスコは、半導体の製造工程を効率化するシステムを相次ぎ開発した。純水をリサイクルする半導体ウエハー切断装置と、無人搬送車（ＡＧＶ）が装置の上を走り半導体ウエハーを複数の切断装置に振り分けるシステムで、実用化するのは業界で初めて。純水リサイクル装置は大規模な半導体工場をはじめ、研...
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(2018/12/7 05:00)
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