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ディスコ、半導体製造を効率化装置・システム開発（2018/12/7 電機・電子部品・情報・通信１）

純水をリサイクルする半導体ウエハー切断装置と、無人搬送車(AGV)が装置の上を走り半導体ウエハーを複数の切断装置に振り分けるシステムで、実用化するのは業界で初めて。純水リサイクル装置は...

ディスコは、半導体ウエハー切断装置(ダイシングソー)向け純水リサイクル装置で、低価格モデルを新たに開発する。... 同純水リサイクル装置のシリーズ販売は、09年の発売から累計数十台に留...

ディスコ、ダイサー用純水リサイクル装置を開発（2010/11/17）

ディスコは16日、ダイサー用純水リサイクル装置の新機種「DWR1721」を開発したと発表した。純水製造時に発生するドレイン水(濃縮廃水)の圧送機能やダイサーとの通信機能などを追加し、従...

ディスコ、小型純水リサイクル装置を内外で拡販（2009/10/21）

ディスコはダイシングソー(半導体デバイス切断装置)の廃水をすべて再利用できる小型純水リサイクル装置「DWR1720」を拡販する。... 小型純水リサイクル装置のデモルームは、顧客向けに...

ディスコはダイシングソーの廃水をすべて再利用できる純水リサイクル装置「DWR1720=写真」を完成した。... ダイシングソー用の純水リサイクルシステムは従来、純水の製造や水温調整、廃水濾過な...