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明電舎、ＡＬＤ成膜を実用レベルに ＲＴＲフィルム装置導入
(2019/10/3 05:00)
明電舎は、オゾンとエチレンガスによる原子層堆積（ＡＬＤ）でフィルムに成膜したサンプルの大きさを、実用...
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(2019/10/3 05:00)
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